近年来，国内半导体相关企业不断受到外围以美方为主导的对我国半导体产业的制裁，一旦半导体设备或相关的零件禁止出口到国内，将很大程度阻碍我们在半导体行业的短期发展，所以在关键半导体零件上我们国内的企业急需突破相关技术壁垒，实现半导体设备及相关零件的自主可控。
这对国内相关企业来说，半导体精密零部件研发及加工是个巨大的挑战，同时也是庞大的商业机会
据半导体产业相关调查公司资料显示，半导体设备的关键子系统主要分为八大类：
气液流量控制系统
真空系统
制程诊断系统
光学系统
电源气体反应系统
热管理系统
晶圆传送系统
其他集成系统及关键组件
每个子系统亦由数量庞大的零部件组合而成，不同的半导体设备的核心零部件也有所不同，例如：光刻机的核心零部件包括工作台、投影物镜、光源 等，而等离子体真空设备（PVD、CVD、刻蚀）的核心零部件包括 MFC、射频电源、真空泵、ESC 等。
半导体设备企业采购的零部件通常包括机械类、机电一体类、电气类、气体输送系统类、真空系统 类、附属设备等。参考部分半导体设备公司的招股说明书，其中，腔体、金属加工件、EFEM 等精 密机加件的国产供应商包括靖江先锋（参考沈阳拓荆、中微公司的招股说明书）、沈阳富创（参考 公司官方网站）、兆恒众力等，而真空系统、真空泵、射频电源、机械手等通用部件都是采购 MKS、AE、爱德华、Rorze 等外资品牌。
核心零部件作为半导体设备的主要组成部分，与半导体材料、EDA 软件共同支撑着半导体产业链中 设计、制造、封测等环节，从而支撑全球经济数字化进程。半导体核心零部件与半导体原材料一 样，尽管市场规模小，却决定了半导体设备的核心构成、主要成本、优质性能等。
半导体零部件的竞争格局主要被美国、日本及欧洲企业垄断，行业集中度较高据ic world 2020数据显示20类半导体核心零部件产品的44家供应商中，有大概20家是美国供应商，16家是日本供应商，欧洲有5家，韩国有2家。
在历届半导体集成电路零部件产业峰会上，与会企业表示要促进我国半导体集成电路零部件产业的发展， 增强零部件企业和下游企业之间的合作，构建良性的产业生态，加快零部件国产化进程。通过整合全国集成电路零部件领域创新资源，缓解“卡脖子”问题，实现关键核心技术自主可控，为我国集成 电路技术创新发展做出贡献。
目前国内虽然已经有部分企业实现了部分零件国产化，但是在一些关键性的零件上我们急需加把劲，加快速度实现国产化，实现自主可控。
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